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Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
- Size (mm) : 1500(W) x 893(H) x 590(D)
- 경제적 & 공간 절약형 모델.
- Water-cooled end chambers doors.
- Water-cooled end chambers and doors.
- 온도 조절: ~1,100℃
- 고온에 보호되도록 설계된 디자인
- 필름 두께의 균일성: ≤+-3%
- 테스트 균일: ≤+-3%
- 빠른 가열, 냉각을 위한 모터 제어 가동 히터
- *가격은 상담 후 결정됩니다.
- (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
이미지를 좌우로 회전하며 보실 수 있습니다.
하지만 기능적으로 우수하면서도 경제적이며 공간 절약형 모델입니다.
CVD System TCVD-50B는 예산에 제한적인 연구자를 위한 가장 이상적인 시스템입니다. 저비용으로 고품질의 Graphene 합성을 할 수 있습니다
유저가 원하는 시스템을 적용 가능합니다.
- 기술사양(표준)
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TCVD Semi-auto operation system
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End chambers(stainless steel) -water cooled system
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Gas control unit ( Mass flow controller - 3channel standard +1 spare
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340liter/min oil rotary pump
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Pneumatic on/off valve with down stream auto pressure control throttle valve with controller
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Programmable temperature controller
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High temperature furnace(Max1200℃)
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Rapid cooling system by furnace moving
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Atmospheric and vacuum processing
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Anti-contamination system by inner tube
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Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
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1 year warranty
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On-site install and training
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Safety unit ( Relief valve )
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- 기술사양(추가)
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Max temp 1500℃ furnace by SIC source
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Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
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MF power induction heating process max temp 1600℃
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MFC(Mass flow controller) addition
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Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
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Auto pressure control throttle valve with controller
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RF plasma ( ICP type )
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Tungsten filament gas source cracking
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Additional furnace for source evaporation
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Fume hood installation
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Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
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Thermal CVD semi-auto operation system
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System utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
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- 소모품
K-type thermocouple (Option : R-type)
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Furnace heating element (Furnace repair)
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Vacuum sensor
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Oil in rotary oil pump
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O-ring
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Quartz tube
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- 시설 요구 사항
전력 220VAC 1ph 25A (30A for +1 furnace) 냉각수 in/out 8 mm one touch fitting 냉각수 공급 Air temp 5~7liter/min 안전 배기 size 6 mm one touch tube 가스 input 압력 40psi 가스 port 4ch standard (Option 2ch 증설) 가스 port size 1/4"lok fitting 배기 pump NW25 Rotary pump 용량 340liter/min Vent Manual handle vent - 설계도
이 장비를 구입한 고객
Boston University 
UCLA
- 품질 보증
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
- 배송 기간
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
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Equipment Purchasing Process
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1
Request Quote
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Confirm Quote Details with Purchase Order
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3
Invoice / Payment
Send Invoice and Payment information
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4
System Production Initiated with Down Payment
Training program offered
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5
Equipment Operation Test / Export packaging & shipment
Upon completion of system production, factory operation test performed.
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6
Express Air Shipment & Delivery
Estimated delivery
– 4 business days
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1
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FAQ
Construction...