JOIN
LOGIN
Vapor Deposition 열화학증착(TCVD)기술의 주요 사항은 기판 위에 얇은 필름이 합성되는 고압의 reactor로 1,000ºC 가량의 고온에서 가스들을 유입시키는 것입니다.
- Size (mm): 2300(W) x 1770(H) x 750(D)
- Up to 10 gases 3 MO sources for gas-phase synthesis.
- 빠른 가열, 냉각을위한 모터 제어 가동 히터
- 프로그램 레시피를 컴퓨터 제어
- Platform: 5년이상 시스템의 검증된 성능을 제공합니다.
- 모든 샘플의 합성과정에 대한 초청교육
- 고품질 재료 공급
- 1 년 보증 포함 (2 년 사용 가능한 보증 연장)
- CVD chamber에 glovebox를 연결
- * 가격은 상담 후 결정됩니다.
- (표준 부분에서 다른 사용자 정의는 전체 가격에 영향을 미칠 것입니다.)
이미지를 좌우로 회전하며 보실 수 있습니다.
글러브 박스 시스템 CVD 챔버가 이층구조로 되어있는 독특한 형태의 장비입니다. 좀 더 특별하고 다양한 연구실험을 제공합니다. 또한 글러브박스가 포함되어 있습니다.
-
-
사양 (표준)
Thermal CVD Auto Operation system - 2channel operation
Both End chamber(Stainess) - All parts cooling by water
Glove box unit (Sample Auto-loading and Anti-contamination)
Quartz Main chamber
Gas control unit ( Mass flow controller) - 3channel standard
340liter/min Oil rotary pump
Pneumatic On/off valve with Auto pressure control Throttle valve
Programmable Temperature controller
High Temperature Furnace(Max1200℃)
Rapid Cooling system by furnace moving
Atmospheric and Vacuum Processing
Anti-contamination system by inner tube
Vacuum gauge unit(Capacitance/Convectron)
1 year warranty
On-site install and tranning
System Program (Auto processing system)
Safety Cover (Connected exhaust system)
High Vacuum processing (Pump/Gauge/valve unit)
RF plasma (ICP type)
-
사양 (추가)
Max temp 1500℃ Furnace by SIC source
Rapid thermal processing furnace by IR lamp source
MF power induction heating process Max temp 1600℃
MFC(Mass flow controller) addtion total 12channel
Dry vacuum pump ( Scroll / booster / industry)
Safety interlock system(Water / Air/gas leak)
Tungsten filament gas source cracking
Additional Furnace for source evaporation
High Vacuum processing option (Pump/Gauge/valve unit)
Source delivery system ( Bubbler / Gas / Solid )
System Utility ( Chiller / scrubber / gas cabinet )
System Co-operation( 2system simultaneous operation)
-
소모품
K-type Thermocouple (Option : R-type)
Furnace heating element (Furnace repair)
Vacuum sensor
Oil in Rotary Oil Pump
O-ring
-
Quartz tube
-
사양 (표준)
-
시설 요구 사항
전력 220VAC 1ph 75A 공기압 0.5~0.6Mpa 공기압 input 크기 6 mm one touch fitting 냉각수 in/out 3/8" lok fitting 냉각수 공급 Air temp 5~7liter/min 냉각수 압력 0.1~0.2Mpa 안전 배기 size 6 mm one touch tube 가스 input 압력 40ps 가스 port 4ch standard (Option 2ch Expansion) 가스 port size 1/4"lok fitting 배기 pump NW25 Rotary pump 용량 340liter/min Vent 1/4"lok fitting -
설계도
-
품질 보증
그래핀 스퀘어에서는 장비를 구매하신 고객분들께 전체 부속품 (단 quartz 유리 및 고무 오링 제외)에 대한 1년 무상 워런티 서비스를 제공합니다. 기간 내에 사용하시는 장비에서 부품 이상 또는 시스템 오류 발견시 바로 연락 주시면 즉각 24시 이내에 수리기사를 파견하여 드립니다.
- 배송 기간
제작 완료 및 검수 공정을 통과한 모든 장비는 고객님께서 지정해주신 장소로 당일배송 드립니다.
-
Equipment Purchasing Process
-
1
Request Quote
-
2
Confirm Quote Details with Purchase Order
-
3
Invoice / Payment
Send Invoice and Payment information
-
4
System Production Initiated with Down Payment
Training program offered
-
5
Equipment Operation Test / Export packaging & shipment
Upon completion of system production, factory operation test performed.
-
6
Express Air Shipment & Delivery
Estimated delivery
– 4 business days
-
1
-
FAQ
Construction...